使用激光干涉儀，提高數控機床定位精度！

激光干涉儀laser interferometer，以光波為載體，據此為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量。

激光干涉儀可以測量出一些誤差值，導入數控系統，改善機床加工精度。

發展歷史：

1960年世界上第一臺紅寶石激光器被研制出來，從此開始了光學技術飛速發展的新時代。激光干涉測量被廣泛用于長度、角度等領域，和微電子技術、計算機技術集成，成為現代干涉儀。

1986年干涉儀開始向納米、亞納米分辨率和精度前進。

激光干涉儀是激光在計量領域中最成功的的應用之一。主要分為單頻和雙頻兩種。配合折射鏡、反射鏡等來作線性位置等的測量工作，可測量的量包括：位置、速度、角度等，并且可以精密測量。利用光的干涉實現測量，能夠應用于眾多的領域。

工作原理

激光器向線性干涉鏡發射單一頻率光束，然后分成兩道光束，一道光束為參考光束射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束為測量光束通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。

若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

可做以下用途：

一：直線度測量

1.沿水平軸直線度測量，激光器發射出的光束穿過中間的直線度干涉鏡，分為兩束同頻的光源，通過直線度反射鏡反射匯聚到干涉鏡，再返回激光器。此種測量方法，可以檢測出干涉的光波在直線度干涉鏡移動的方向上產生多少偏差，可以用來調試設備。

2.沿垂直軸直線度測量，將激光干涉儀水平光束轉換成垂直光束。

二、線性測量

可以定位精度、重復定位精度、反向間隙等多項檢測機床軸的精度指標。

需要用到一個各線性分光鏡和兩個線性反射鏡。

激光干涉儀是精度最高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義，可溯源至國家標準。

我們一般出廠前的新機床大多使用激光干涉儀進行定位精度和重復定位精度以及反向間隙的檢測，機床使用一段時間后，由于絲杠的磨損和其它原因，精度會逐漸喪失，也需要使用激光干涉儀進行精度的再校準。

目前激光干涉儀市場上雷尼紹占比80%，光動占比20%，國產目前還沒有哪家能與其相匹敵。

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